- 产品描述
- 技术指标
- 应用案例
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产品型号：
AtomMax
产品简介：
利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，可实现晶圆级大样品形貌表征。电动样品定位台与光学图像相结合,可在 200X200 mm 区域实现1 µm的定位精度，光学结构与扫描头集成一体，操作便捷。
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样品尺寸 8英寸晶圆并向下兼容 扫描范围 最大100 μmX100 μmX10 μm 扫描角度 0-360° 分辨率 Z轴闭环分辨率0.05nm；X/Y闭环分辨率0.5 nm 扫描探针XY方向图像分辨率 32×32~4096×4096 工作模式 接触模式、轻敲模式、相位成像模式、抬起模式、多向扫描模式 多功能测量 静电力显微镜(EFM)、扫描开尔文显微镜(KPFM)、压电力显微镜(PFM)、磁力显微镜(MFM) -
晶圆粗糙度测量
晶圆沟槽深度测量
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